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Park Systems擴(kuò)展FX大型樣品AFM產(chǎn)品線，為下一代工業(yè)創(chuàng)新注入動(dòng)力
韓國(guó)首爾2025年2月19日 /美通社/ -- 全球原子力顯微鏡（AFM）領(lǐng)軍企業(yè)Park Systems在2025年韓國(guó)半導(dǎo)體展覽會(huì)上推出了擴(kuò)展版FX大型樣品AFM系列產(chǎn)品。 繼Park FX200在2024年西部半導(dǎo)體展覽會(huì)（SEMICON West）首次亮相并隨后在德國(guó)、日本和韓國(guó)市場(chǎng)獲得強(qiáng)烈反響之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術(shù)的Park FX200 IR和FX300 IR，進(jìn)一步拓展了大型AFM技術(shù)的邊界。
隨著300毫米晶圓成為半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，Park FX300專為需要高精度分析但無(wú)需復(fù)雜全自動(dòng)在線系統(tǒng)的用戶設(shè)計(jì)，同時(shí)也為計(jì)劃在過(guò)渡至在線制造前引入AFM技術(shù)的企業(yè)提供理想解決方案。
Park FX300兼顧工業(yè)與科研需求，通過(guò)多項(xiàng)專有功能實(shí)現(xiàn)廣泛AFM技術(shù)的分析與質(zhì)控升級(jí)：如半導(dǎo)體后端處理中銅墊的長(zhǎng)程平整度測(cè)量的滑動(dòng)載物臺(tái)；用于晶圓封裝中樣品精確對(duì)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)；以及增強(qiáng)樣品可視化效果的離軸光學(xué)系統(tǒng)。此外，內(nèi)置風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（FFU）可確保潔凈室環(huán)境下的無(wú)污染操作。
同步推出的FX200 IR與FX300 IR將AFM技術(shù)拓展至納米化學(xué)分析領(lǐng)域。通過(guò)融合傅里葉變換紅外光譜（FTIR）與原子力顯微鏡，該系列采用光誘導(dǎo)力顯微鏡 （PiFM）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)小于5納米化學(xué)成像的空間分辨率。這一突破使研究人員能在不損傷晶圓表面的前提下分析納米結(jié)構(gòu)化學(xué)成分，為半導(dǎo)體、高分子及生命科學(xué)領(lǐng)域的材料表征開(kāi)辟新路徑。
FX200 IR 和 FX300 IR 專為從小尺寸到200毫米或300毫米晶圓的樣品設(shè)計(jì)，提供高分辨率紅外光譜成像，可深入解析材料組成與分子相互作用。其超精細(xì)化學(xué)鍵信息捕捉能力，為半導(dǎo)體缺陷分析、高分子研究及先進(jìn)材料表征提供高精度支持。
秉承"高效率同時(shí)減少人工干預(yù)"理念，F(xiàn)X大樣品AFM系列配備探針自動(dòng)識(shí)別更換系統(tǒng)、用于探針狀態(tài)監(jiān)測(cè)的二維碼系統(tǒng)及AI激光對(duì)準(zhǔn)功能。StepScan?技術(shù)支持預(yù)設(shè)坐標(biāo)點(diǎn)自動(dòng)連續(xù)測(cè)量，大幅提升形貌、電學(xué)、力學(xué)與磁學(xué)特性分析的效率。尤其在紅外應(yīng)用中，系統(tǒng)通過(guò)全自動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)流程，顯著降低高分辨率化學(xué)分析的操作門檻。
韓國(guó)帕克股份有限公司（Park Systems）執(zhí)行副總裁趙相俊博士表示："FX大樣品AFM系列凝聚了我們?cè)诰軠y(cè)量與自動(dòng)化領(lǐng)域數(shù)十年的技術(shù)積淀，為工業(yè)與科研用戶提供優(yōu)化的晶圓分析解決方案。Park FX300及納米紅外系統(tǒng)正在重塑工業(yè)與研究級(jí)AFM的應(yīng)用界限，為客戶提供先進(jìn)的AFM解決方案, 共同推動(dòng)納米科學(xué)的發(fā)展。"
此次創(chuàng)新進(jìn)一步鞏固了 韓國(guó)帕克股份有限公司（Park Systems）在原子力顯微鏡領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)地位，持續(xù)為半導(dǎo)體與納米科學(xué)研究提供前沿解決方案。
關(guān)于Park Systems公司：（ 韓國(guó)科斯達(dá)克(KOSDAQ)股票代碼：140860）
作為納米計(jì)量解決方案的引領(lǐng)者，Park Systems以其制造的高質(zhì)量原子力顯微鏡（AFM）而備注關(guān)注。與行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手不同，Park Systems在材料科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等多個(gè)科學(xué)領(lǐng)域中能與客戶保持良好的專業(yè)關(guān)系。公司的使命是為科學(xué)家和工程師推動(dòng)納米尺度的創(chuàng)新，促進(jìn)科學(xué)發(fā)現(xiàn)。Park Systems的客戶包括各大半導(dǎo)體公司和研究型大學(xué)。公司總部位于韓國(guó)水原，并在美洲、歐洲和亞洲設(shè)有地區(qū)辦事處，Park Systems已在韓國(guó)證券交易所（KOSDAQ）上市。了解更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：www.parksystems.cn。
