上海2017年10月23日電 /美通社/ -- 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中微”）日前宣布，中微金屬有機(jī)化合物氣相沉積（MOCVD）設(shè)備Prismo A7? 反應(yīng)腔交付量突破100臺(tái)，這是自去年中微MOCVD設(shè)備Prismo A7?第一次推向市場(chǎng)以來(lái)的一個(gè)重要里程碑。Prismo A7?是中微第二代MOCVD設(shè)備，主要用來(lái)進(jìn)行氮化鎵LED外延加工以及其他應(yīng)用。每臺(tái)Prismo A7? 設(shè)備可容納多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔， 每個(gè)反應(yīng)腔的產(chǎn)量是中微第一代MOCVD設(shè)備Prismo D-BLUE®的2倍多。
目前中微的MOCVD設(shè)備已在國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的生產(chǎn)線上進(jìn)行大規(guī)模量產(chǎn)，它們是全球大部分LED芯片的生產(chǎn)制造商，包括三安光電和華燦光電。中微自從正式發(fā)布MOCVD 設(shè)備Prismo A7?以來(lái)，不斷地接到了新的訂單和重復(fù)訂單，銷(xiāo)售勢(shì)頭迅猛。預(yù)計(jì)截至今年年底，中微將付運(yùn)近120臺(tái)MOCVD反應(yīng)腔。
三安光電副董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理林科闖稱(chēng)，中微的MOCVD設(shè)備對(duì)三安的LED生產(chǎn)制造做出了很大的貢獻(xiàn)。他指出：“中微的MOCVD設(shè)備具有優(yōu)異的工藝性能、較高的生產(chǎn)效率和較低的運(yùn)營(yíng)成本，我們和中微一起合作以滿足先進(jìn)技術(shù)的要求。此外，由于中微是一家本土知名的微觀加工高端設(shè)備公司，我們能夠較便利地獲得中微豐富的技術(shù)支持和現(xiàn)場(chǎng)快速響應(yīng)支持。我們很高興和中微合作。”
中微資深副總裁、首席運(yùn)營(yíng)官兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)群總經(jīng)理杜志游博士說(shuō)：“我們感到很榮幸，能夠?yàn)槲覀冏鹳F的客戶(hù)提供可靠、可信賴(lài)的國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備，以滿足他們對(duì)于MOCVD這一關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)要求。我們致力于通過(guò)不斷創(chuàng)新并為其生產(chǎn)線提供新的解決方案來(lái)幫助他們優(yōu)化LED性能并降低生產(chǎn)成本。我們非常感謝和他們的業(yè)務(wù)合作。”
Prismo A7?: 為LED超高產(chǎn)能而設(shè)計(jì)
中微MOCVD設(shè)備Prismo A7?研發(fā)的重中之重在于幫助客戶(hù)優(yōu)化LED性能并降低基于氮化鎵LED的生產(chǎn)成本。中微在設(shè)計(jì)機(jī)臺(tái)時(shí)始終都致力于滿足日益嚴(yán)格的生產(chǎn)要求，緊湊的占地面積是中微機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)中的一個(gè)特色，獨(dú)特的配置使中微的MOCVD設(shè)備可容納多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔，同時(shí)加工136片4英寸外延晶片，并且每個(gè)反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制。
為進(jìn)一步達(dá)到優(yōu)化性能、提高產(chǎn)量并降低生產(chǎn)成本的目標(biāo)，中微在反應(yīng)腔設(shè)計(jì)時(shí)特別關(guān)注氮化鎵外延的關(guān)鍵工藝要求。這些要求包括：
優(yōu)異的工藝均勻性：中微通過(guò)多區(qū)氣體注入系統(tǒng)、具有獨(dú)特設(shè)計(jì)的氣體分配注入器和多區(qū)供熱系統(tǒng)，達(dá)到優(yōu)異的均勻性；
較高的設(shè)備可靠性：中微的MOCVD設(shè)備使用了具有獨(dú)立自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的業(yè)內(nèi)認(rèn)可的操作軟件，以及成熟的自動(dòng)化控制系統(tǒng)。在設(shè)計(jì)、集成和測(cè)試中都遵循且符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)，這些都使得中微的MOCVD設(shè)備具有較高的設(shè)備可靠性；
卓越的工藝重復(fù)性：中微擁有獨(dú)立自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的特殊邊緣吹掃設(shè)計(jì)，以減少?lài)娏茴^上的顆粒生成，使得中微MOCVD設(shè)備具有卓越的重復(fù)性；
簡(jiǎn)便的操作性：中微的MOCVD設(shè)備采用了具有全自動(dòng)化、可編程的反應(yīng)腔開(kāi)關(guān)系統(tǒng)，以及為更換MO源鼓泡器而定制化設(shè)計(jì)的真空管路，使中微MOCVD設(shè)備在連續(xù)加工過(guò)程中不需要開(kāi)腔清洗或維修。這一優(yōu)勢(shì)大大提高了中微MOCVD設(shè)備的利用率。
中微MOCVD設(shè)備Prismo A7?已在中國(guó)大陸、臺(tái)灣、日本、韓國(guó)和美國(guó)等國(guó)家和地區(qū)申請(qǐng)專(zhuān)利155項(xiàng)（包括授權(quán)和未授權(quán)），它們是中微1000多項(xiàng)專(zhuān)利中的重要組成部分。
Prismo A7?是中微公司已申請(qǐng)的注冊(cè)商標(biāo)。
