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宜特晶圓減薄能力達(dá)1.5mil | 美通社

2021-01-07 19:35

使用控片測得2mil、1.5 mil、1.5 mil優(yōu)化條件后的損壞層厚度及TEM分析

宜特(TWSE: 3289)于1月6日宣布,晶圓后端工藝廠(竹科二廠),通過客戶肯定,成功開發(fā)晶圓減薄達(dá)1.5mil(38um)技術(shù),技術(shù)門坎大突破。同時(shí),為更專注服務(wù)國際客戶,即日起成立宜錦股份有限公司(Prosperity Power Technology Inc)。

宜特指出,功率半導(dǎo)體進(jìn)行“減薄”,一直都是改善工藝,使得功率組件實(shí)現(xiàn)“低功耗、低輸入阻抗”最直接有效的方式。晶圓減薄除了有效減少后續(xù)封裝材料體積外,還可因降低RDS(on)(導(dǎo)通阻抗)進(jìn)而減少熱能累積效應(yīng),以增加芯片的使用壽命。

但如何在減薄工藝中降低晶圓厚度,又同時(shí)兼顧晶圓強(qiáng)度,避免破片率居高不下之風(fēng)險(xiǎn)自晶圓減薄最大的風(fēng)險(xiǎn)。

為解決此風(fēng)險(xiǎn),iST宜特領(lǐng)先業(yè)界,已完成2mil(50um)、1.5mil(38um),甚至到0.4mil(10um)減薄技術(shù)開發(fā),iST宜特更藉由特殊的優(yōu)化工藝,在降低晶圓厚度的同時(shí),也兼顧晶圓強(qiáng)度,可將研磨損傷層(Damage layer)降到最低。

(美通社,2021年1月6日臺(tái)北)